Horiba S600數字式氣體質量流量計

Horiba S600數字式氣體質量流量計

暢銷型號：

S600-BR212、S600-BR222、S600-BM212、S600-BM222、

S600-CR212、S600-CR222、S600-DR212、S600-DR222、

S600-BR2226、S600-CR226、S600-BM212、S600-BM222、

HoribaS600數字式氣體質量流量計，又稱氣體質量流量控制器，簡稱MFC。

主要功能是：控制器管路中的流量達到期望的設定值，同時反饋實際的流量信號到上位機。

S600-BR222是S600系列中的一款暢銷型號，內部核心部件都是Horiba進口，在國內生產組裝，保證horiba MFC的高穩定性，同時降低了客戶成本，匹配國產的價格。

特點：

1、量程滿足0-3sccm；

2、精度可達0.3%FS(低于30%量程時)

3、核心部件日本進口；

4、高穩定性。

5、數字輸出信號：RS485

Horiba S600數字式氣體質量流量計 

品牌介紹

HORIBA集團向遍布全球各地的用戶大量提供具有水平的分析儀器系統及系列產品。應用范圍從汽車發動機尾氣排放檢測的研發到過程及環境監測，體外醫療檢測，半導體制造和計量，涉及范圍從科技研發到質量控制測量。

實踐證明，的質量和值得信賴的性能贏得廣大用戶對HORIBA集團品牌的信任。

半導體事業部以尖銳的目光關注著半導體、FPD、LED、太陽能、光纖等細微世界的發展。由研發專家展開的研究與開發以支持半導體制程工藝中對不同流體控制技術的需求。為滿足不同市場、不同工藝需求，半導體事業部亦能提供切合客戶需求的不同產品以實現匹配工藝需求。

MFC典型應用

HORIBA 可以為您的涂層工藝生產線提供穩定的控制，如化學氣相沉積 (CVD)，原子層沉積 (ALD)，金屬有機化學氣相沉積 (MOCVD)， PVD (物理氣相沉積)，等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD) 和金剛石沉積或金剛石涂層 (DLC)。我們的產品提供全面的流體控制和過程監控，以提高產量，增加吞吐量，并為您的涂層過程提高效。

進口數字型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG

進口低成本數字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

進口低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541，kolfoc 3760、kofloc 8500，GFC17S、GFC37S、GFC47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S、

數字型：S600-BR212、S600-BR222、S600-BM212、S600-BM222、S600-BR226、S600-BM226、S600-CR212、S600-CR222、S600-CR226、S500-BR212、S500-BM212。

模擬型：Horiba S48-28、horiba S48-32、

Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M

配套的閥門管件：韓國TKF 1/4手動隔膜閥S4DVN-VM-P、1/2手動隔膜閥S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN，

美國Valex不銹鋼管，1/4"EP級不銹鋼管、3/8"EP級不銹鋼管、1/2"EP級不銹鋼管。